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★☆★ Ryokosha メールマガジンvol.33 お役立ちニュース ★☆★
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【INDEX】
・注目製品のご案内
【注目製品のご案内】
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世界初！ 絶縁体も吸着ＯＫ！ 静電ウェハーサポーター吸着方式
『ガラス/極薄ウェハー/小径ウェハー/金属箔/フィルム材向け 固定・ハンド
リングシステム』のご案内 ～接着材フリー 電気的制御のみにて実現～
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私たちをとりまく様々な最先端デバイスは、部材の固定・ハンドリングにお
いて、如何に部材にストレスをかけず固定・ハンドリングができるかが大き
なテーマであり課題であります。
同様に最先端プロセス（成膜、エッチング、露光）には、部材固定した状態
でのプロセスが必須です。従来方式の静電チャック、また接着剤による支持
基板への固定方法の課題を解決できる電気制御のみで吸着・剥離が可能な静
電ウェハーサポーターをご紹介いたします。
＜従来方式：静電チャック＞
■搬送を伴うプロセスで不自由する(コード付きの為)
■裏面（吸着面の逆面）帯電してしまいコンタミを引き寄せる
＜従来方式：接着剤＞
■剥離時 部材へのストレス
■剥離後の粘着材洗浄でプロセスが多い
＜筑波精工製：静電ウェハーサポーター吸着方式の特徴＞
■吸着面の材質はポリイミドになります。
■コードレスかつバッテリー不要。静電力(クーロン力)により、部材固定で
解除電圧をかけるまで吸着を維持します。
■電気的制御のみの為、解除後も部材洗浄が不要です。
■裏面帯電しません。搬送、プロセス下でコンタミを引き寄せません。
■絶縁体であるガラス、フィルム：PET、TAC、樹脂PC板も吸着可能です。
※ワークの電気抵抗がポリイミドより高いものは吸着出来ません。
（15乗Ω以上は吸着NG）
＜運用事例＞
■小径ウェハー（化合物、SiC、他）のウェハサポート。
■最先端半導体プロセス向け極薄ウェハ固定キャリアプレート
■パネル業界でのガラス、フィルムの固定・搬送。ポンプからのエアの引き
回しが不要。
http://www.ryokosha.co.jp/pamphlet/r/170627-1.pdf
＜標準ラインナップ＞
４” ６” ８”
特殊形状サイズ対応可能
デモ対応も承っておりますので、お気軽にご相談ください。
詳細資料をご希望の方は、お問い合わせよりお問い合わせ下さい。
