顕微鏡用デジタルカメラ　DP74

DP74は2073万画素の高解像、最速60fpsの高フレームレートを高い次元で両立、対角視野数21mm相当の広視野観察が可能なだけでなく、蛍光観察時のノイズを軽減し、より高品質な画像を提供します。さらにライブ観察時に、観察位置を見失わない「位置ナビゲーション機能」を新搭載。DP74は必要な機能が網羅されたエビデント顕微鏡カメラのフラッグシップモデルです。

圧倒的な高画質、鮮明なライブ画像を実現

2.3Mピクセルで最速60fpsを実現、ライブ検査だけでなく、画像構築にも大きなアドバンテージ

1920 x 1200ピクセルの高精細なライブ画像で観察を行うことができます。グローバルシャッター搭載のCMOSセンサーでステージ移動中の画像の歪みを抑えつつ、毎秒最大60フレームのライブ表示が可能なため、ストレスなく、目視に迫る快適さで観察ポイントへの移動やピント合わせできます。ウエハの微細パターンやサンプルの表面状態など、微細構造を鮮明かつ滑らかに表示します。また、高フレームレートはライブ観察にメリットがあるだけでなく、高精細画像を広範囲の画像を取得するMIA機能や、段差や凹凸が大きいサンプルの全面フォーカスを得るためのEFI機能でも威力を発揮し、驚くような速さで画像を取得することができます。

目視を凌駕する鮮明画像をライブ画像で、LiveHDR機能

露出を変えて撮影した複数枚の画像を合成してリアルタイムに表示します。この機能により、サンプル表面の陰影をより忠実にライブ表示することができます。これにより表面の微細な凹凸、見分けが難しかったキズや欠陥などが鮮明に観察できます。また強い反射光によって見えにくくなった部分を解消し、鮮明に観察することもできます。

HDR (ハイダイナミックレンジ) で暗部と明部の両方を同時に見やすくする露光 (LED素子)

HDR (ハイダイナミックレンジ) でコントラストを強調(クロム拡散被膜)

もう観察中に迷子にならない、位置ナビゲーション機能

観察中の位置が「マップ」画面上につねに表示されるため、どの部分を観察しているか一目で把握できます。さらにDP74独自のLive画像処理によって手動でのステージ移動を認識し「マップ」を自動的に更新するので観察場所を見失う事はありません。DP74を接続するだけでマニュアル顕微鏡の操作性が飛躍的に向上します。

位置ナビゲーション GUI

高感度、低ノイズ化で微弱な光の蛍光観察にも対応

回路系ノイズの低減、画像処理の最適化などを図り、ISO200-6400相当ゲイン切り替えによって、高感度な撮影を実現しました。暗視野画像やレジスト残渣の蛍光画像など微弱な光でもノイズの少ない明るく鮮明な画像が取得できます。

DP74+BX53M組み合わせ: 蛍光観察

半導体ウエハ上の異物: 蛍光観察

幅広い研究用途をカバーする高品質な撮像画像を提供

先進技術を駆使した２つのピクセルシフト機能

2.3MピクセルのカラーCMOSを画素シフトすることで、最大2073万画素の圧倒的な高解像度で画像取得できます。さらに、従来の1画素1色の3×3の画素シフトに加え、1画素で3色 (RGB) の画像取得を可能にした3CMOSモードの採用により、更に解像力の高い画像を取得することができます。

3CMOS モードなし (左側)
3CMOS モードあり (右側)