PA-200

主な特徴

複屈折分布の測定原理

• 強い内部応力や歪んだ結晶構造などの原因で、 屈折率が向きによってわずかに異なる値を示すことがあります。 これを複屈折と呼びます。
  複屈折を持つ物質には、透過した光の偏光状態を変化させる特徴があり、 液晶パネルや光ディスクなどにひろく利用されています。
  また、内部応力の評価に複屈折測定が利用されることもあります。
• しかしながら、一般に複屈折の測定には時間がかかるため、面分布を 定量測定したい場合にも、数ポイントの点測定などで代替されてきました。
  PA200なら、簡単な操作で複屈折の面分布を高速測定できます。 これにより、サンプルの全数・全面測定が可能になります。
• 複屈折の面分布測定を高速に実現する為に、2つの独自技術が生かされています。

  技術1:ヘッド部内蔵の偏光イメージセンサ
  偏光カメラPI00と同様のこのセンサにより、偏光の面分布を画像として、 瞬時に撮影できます。
  技術2:高速な偏光計測アルゴリズム
  高度な偏光計算を各画素ごとに高速処理するプログラムがあって、 初めて高速な複屈折測定が実現しました。

• 操作方法は簡単です。
  はじめに測定物を置かない状態で光源を撮影します。
  あとは、サンプルをのせて測定ボタンをクリックするだけで、次々に サンプル全面の複屈折分布を測定できます。

主な仕様

	PA-200	PA-200-L
測定
測定範囲	0～130nm
繰返し再現性	1.0nm以下
センサユニット
複屈折画素数	1120×868（≒100万）pixels
測定波長	520nm
筐体
寸法	270×340×560 mm	430×490×910 mm
測定視野サイズ	27×36 mm ～ 99×132mm （標準レンズ）	36×48 mm ～ 240×320mm （標準レンズ）
	3.6×4.8 mm ～ 12.9×17.2mm （ズームレンズ ※オプション）
重量	18kg	24kg
その他
インターフェース	GigE(カメラ信号)
電源 / 消費電流	AC100～240V(50/60Hz) / ～6.0A
ソフトウェア	PA-View
付属品	ノートパソコン、標準レンズ、取扱説明書

注１）測定対象の材質によるより計測可能な範囲が異なります。
※製品仕様は予告無しに変更することがあります。
※本製品で計測できる内部歪みは光学的に測定され、測定値は光学位相差(単位:nm)で表示されます。

ソフトウェア　PA-View の機能

• 付属のPA-Viewは、PA-200の操作と取得データの解析・保存など、一連の操作を簡単に行うことができるようにつくられた専用ソフトウェアです。ここではPA-Viewの主な機能を紹介します。
• ボタンクリックによる簡単操作
  複雑な初期設定なしにすぐに測定を行うことができます。また、サンプルをステージに置いて測定ボタンを押すだけで次々に多数個のサンプル測定が可能です。
• 多彩なデータ表示機能
  複屈折軸方位の線表示、任意領域のヒストグラム、任意ライン上の定量解析、任意閾値以上の領域表示など、様々にデータ解析できます

• 複数の撮影データを同一画面上で比較できるデータアルバム機能、画面上で実際の寸法を確認できる側長機能、テキスト形式でのデータ保存機能など、解析を強力にサポートする機能が充実しています。

測定例