レジスト剥離を始めとする、有機剥離洗浄を行う装置
- メンテナンス性に優れた、背面上部搬送機タイプ。
- 超音波は、低周波から高周波まで対応。スイープタイプや多周波タイプ等、ワークに合せて提案
- 揺動機構に対応。
- 有機溶剤と酸・アルカリ系の混在仕様も対応可能
- 角基板、小片ウェハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能
- 手動タイプから全自動タイプまで、仕様・予算に合せてご提案可能
- 剥離槽の数、リンス槽の数、乾燥方式等カスタマイズ可能
カスタマイズ
・漏洩センサー
・排気圧センサー
・非常停止スイッチ
・一時停止スイッチ（自動メカ付）
・扉センサー（自動メカ付）
・圧力スイッチ
・温度センサー（恒温度仕様）
・自動消火システム
・パトライト
・網入りガラス又は強化ガラス
・爆圧ハッチ
・各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もあります。
