青木良平 – 精密機器総合技術商社株式会社菱光社

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ダルトン
ドラフトチャンバー（機器組込み型）ドラフトチャンバー（機器組込み型）ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能。
コンタミネーション解析・異物検査システム ContamiAnalyzer 三谷商事㈱コンタミネーション解析・異物検査システム顕微鏡やデジタルマイクロスコープを利用して自動的に粒子サイズごとの分析や検査を行うことができるコンタミネーション検査システム。
フューチュアテック
フューチュアテックマイクロビッカース硬度計FX-LX/FX-LXR マイクロビッカース硬度計ロードセル負荷方式採用により、多段階荷重切換が可能
外観検査装置　Cosmo Finder 三谷商事㈱外観検査装置 Cosmo Finder 顕微鏡を利用したウエハの外観検査を画像処理を使って高速・高精度に実現。
ダルトン
リフトオフ装置　HU型（量産向け）量産向けリフトオフ装置バッチ処理の槽浸漬方式と枚葉処理の高圧スプレー方式を併用した独自のシステムです。
ダルトン
バッチ式エッチング装置(バッチ式洗浄装置) バッチ式エッチング装置お客様の仕様に合わせ、コストダウンに配慮した仕様で全自動から手動機までご提案可能です。
ダルトン
レジスト剥離・有機洗浄装置レジスト剥離・有機洗浄装置レジスト剥離を始めとする、有機剥離洗浄を行う装置です。
液中マクロパーティクルカウンタ PC5000/PC3400 液中マクロパーティクルカウンタ従来の監視（導電率・TOC）では評価できない、液体の「マクロ粒子汚染リスク」を抽出・モニタリング
エビデント
コンタミネーション解析システム CIX100 コンタミネーション解析システム高い信頼性と高速性を両立したCIX100を使えば工業規格に沿った顕微鏡検査や検査結果のレビュー、レポート出力が、オペトレ不要な簡単操作で行えます。
インテクノス　リアルタイム粒子堆積モニタ APMON-アップモン- リアルタイム粒子堆積モニタ APMON ・「落下・堆積粒子」による付着異物を常時監視