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★☆★ Ryokosha メールマガジンvol.13 お役立ちニュース ★☆★
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【INDEX】
・おすすめ商品のご案内 「ウエハクラック検査、チッピング検査」
・菱光社 Plus One 情報 「管電圧450Kv マイクロフォーカス」
・イベント終了報告
【おすすめ商品のご案内】
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半導体製造工程における「ウエハクラック検査」「ウエハチッピング検査」
● 目視では困難だったウエハの「クラック」「チッピング」の検査装置 ●
～ 昭和電気研究所 ～
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≪ウエハクラック検査装置 SEL-WCISシリーズ≫
・ウエハ一括撮像・検査（１ショット／１枚）
・目視では発見が困難な、ウエハの微細クラックを特殊な光学系と画像処理で
検出します。
・クラックの入っているウエハを色分け表示。クラックの座標位置をマップ表示。
詳細はこちらから
≪ウエハチッピング検査装置 SEL-WCPSシリーズ≫
・ウエハの外周部分のチッピング（欠け）を自動検査
・検出するチッピングのサイズを自由に設定可能（光学方式と画像処理方式）。
・チッピングの入っているウエハを色分け表示。チッピングの位置をマップ表示。
詳細はこちらから
【菱光社 Plus One 情報】
◆━…‥「管電圧450Kv マイクロフォーカス 登場」 ━━━━━━━━━━◆
細かい内部構造や欠陥を可視化するX線 CTスキャナー
～ ニコン XT H225 ST／XT H320／XT H450／MCT225シリーズ ～
株式会社ニコンが提供するX線装置は、25年以上X線分野で実績があり、自社で
X線源の設計・製造を行っている会社です。X線装置を販売しているメーカは世界
各国で多数ありますが、X線源を自社開発・製造している会社は世界でも数社と
いわれており、自社開発というのがニコンの強みです。特に高出力の450kVマイ
クロフォーカスX線源を持つ世界唯一のメーカでもあります。
今回は、非破壊検査には欠かすことのできない産業用CTスキャナーとして広く
使われているXT H225 ST、大型サンプルの高解像度観察に適した高管電圧／高
出力のH320、H450、そして昨今、非接触三次元測定機の一つとして注目を浴び
ている計測用途のMCT225をご紹介します。
ニコンが提供するX線装置は、全てランニングコストが安価な開放管マイクロ
フォーカスX線源を搭載しているのが特徴で、鮮明な画像を得ることが可能で
す。
非破壊検査は透過像とCT（Computed Tomography）スキャンに分けることができ
ます。透過像では、コネクタのケーブルの断線や組立てミスなどが直ぐに判断
することが可能です。CTスキャンのデータは、表面データではない中身の詰ま
ったボリュームデータと呼ばれ、ソフトウェアによって3D画像や任意断面での
切断画像、欠陥の可視化や大きさを色分け、分布、更に座標計測を行うことが
可能です。
X線CTボリュームデータによる主なアプリケーションは
・任意断面切断による不具合検査
・内部欠陥検出
・3D CADとボリュームデータの比較
・座標計測
などがあります。
昨今、軽量化やダウンサウジングによる鋳造部品の肉厚が薄くなってきており内
部の欠陥（鋳巣）の位置と大きさは、ますます重要なってきています。また射出
成形品も、巣の状態確認だけでなく、大変複雑な形状になってきているので、型
修正に欠かせない計測がますます難しくなってきています。接触式測定機では、
測定プログラミングに非常に時間が掛かり、測定点が少なく形状評価ができませ
ん。形状取得が可能なレーザースキャナーでも複雑な形状は取得できないことも
あります。X線CTスキャナーは、複雑な形状でも一度にボリュームデータを取得
することが可能で、欠陥解析結果から迅速な型修正や、接触式計測プログラミン
グが不要な3D CADとの比較による工程短縮に寄与しています。
MCT225は測定用CTスキャナーとして、ドイツのVDI／VDE2630に準拠したトレーサ
ビリティの取れた装置です。ボリュームデータは表面データではないので、表面
だけでなく、内部の寸法計測も可能です。非接触かつ任意断面の内部の寸法計測
が可能なのはX線CT装置だけで、計測用CTスキャナーは究極の三次元測定機と言
われつつあります。
株式会社ニコン産業機器事業部の産業用X線CTスキャナーは、製造部門の品質向
上と工程短縮に寄与し、様々な業界で威力を発揮し、多彩な製品群をソリュー
ションと共に、お客様に提供していきます。是非、ご検討ください。
【イベント終了報告】
◆━…‥『 最新の三次元表面性状パラメータと測定法講習会 』 ご参加の御礼
7/3に埼玉県産業技術総合センターで開催致しました「最新の三次元表面性状
パラメータと測定法講習会」がお陰様で無事終了致しました。入場者数は30名
程にご参加頂きました。お忙しいところご参加頂きました皆様には、御礼を
申し上げます。誠に有難うございました。ISOの新規格「25178‐6XX」につき
ましては、改めて皆様の関心の高さが伺えました。
出展製品：
(1).三鷹光器製 非接触表面性状測定装置 PF-60
(2).オリンパス製 レーザー顕微鏡 LEXT OLS4100
(3).キヤノンマーケティングジャパン製 新世代3次元光学プロファイラー
Nexview
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