その他
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ドラフトチャンバー（機器組込み型）
ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能。
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空気ばね型卓上除振台 PB-5AA（標準品、SUS仕様）
ばね上の荷重に対応して自動的に空気ばね圧力を調整し、レベルの水平を保ちます。
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高性能空気供給型（高性能タイプ） ND（標準品、SUS仕様）
水平方向低固有振動数型の高性能タイプの空気ばね式除振台です。
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空気密封型（低コスト汎用タイプ） ORC
空気源の無いところで活躍する、密封式空気ばね型の除振台です。
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LEDダイボンダー
本装置は、基板上に高速かつ高精度に、LEDチップをダイボンディングする全自動LEDダイボンダーです。又、シート交換ユニットにより４種類のウェハーシートが交換でき、チップの品種ロット切り替えが簡単に行えます。
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ウエハローダ AL120
更なる機能を追求。歩留り・生産向上を強力にアシストします。
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LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200
高密度化、多層化、高段差化が進む最新のウェハプロセスに対応して、マクロ検査機能として、搬送（ミクロ検査）、表面マクロ検査、裏面中央マクロ検査、裏面周辺マクロ検査を可能としたタイプ。
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デスク型除振台 SVD/SRD
使い易さ、低価格、豊富な機能を装備したシステムデスク型除振台の2機種です。ユーザーズマインドを徹底的に追求した省力化設計です。
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卓上型除振台 クリーンルーム専用機 TAS/TASC
定盤部分にSUS304を使用し、またレベル調整時に排気するエアーを集中回収することにより防塵対策に万全の配慮がなされております。
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エコベント/ エコウインドシリーズ
