搬送機/ロボット
主な取扱メーカー
ニコンソリューションズ、オリンパス
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ウエハローダ AL120
更なる機能を追求。歩留り・生産向上を強力にアシストします。
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LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200
高密度化、多層化、高段差化が進む最新のウェハプロセスに対応して、マクロ検査機能として、搬送（ミクロ検査）、表面マクロ検査、裏面中央マクロ検査、裏面周辺マクロ検査を可能としたタイプ。
