分析/評価機器
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エリプソメータ
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PA-200
独自技術のフォトニック結晶を用いて面内複屈折分布を高速に測定
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WPA-200
PA-200同様に独自フォトニック結晶を用いる事に加えて、3波長の偏光解析を搭載する事で高位相差レンジ評価を可能としました。
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PA-micro
PA-200の顕微鏡タイプとなります。
顕微鏡視野でのサンプルに対して、低倍から高倍の対物レンズを用いることで微小エリアでの二次元複屈折評価を可能としました。
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WPA-micro
WPA-200の顕微鏡タイプとなります。
新機能として反射偏光観察機能や観察時のリアルタイム偏光画像モニタリングにより評価位置の設定が容易になっております。
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PI-110
偏光画像のリアルタイムな動画観察が出来ます。
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複屈折測定 PA/WPA200シリーズ
