X線膜厚測定機
主な取扱メーカー
幸和電熱計器
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K-MSX 膜密度組成測定装置
薄膜の絶対膜厚測定、密度測定、組成比測定などX線を使用して測定する事ができます。
Al,Cu,Ti,W,Au,Ni,Pt など金属膜やSiO2,SiNなどの透明膜、OEL膜など評価可狽ﾅす。
三鷹光器 非接触三次元測定装置 NH-3SP
紹介動画
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