測定機
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MM-800/LMU・MM-400/LMU より高精度な測定性能と確かなメカニズム、そして信頼性の高い光学系、というニーズに応える最新の性能を携えた測定顕微鏡です。
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MM-400/T・MM-400/M コストパフォーマンスにすぐれた、測定顕微鏡MM-400の基本タイプ。
測定用途に応じて監察部やステージを選択できます。 -
MM-800/LFA・MM-400/LT Z軸スケールを内蔵した両軸ハンドルタイプです。
用途に応じて、FA三眼観察部と三眼観察部が選択できます。 -
MM-200 場所を選ばないコンパクトボディに、高品質な測定機能を凝縮。
これまでにない、優れたコストパフォーマンスに大注目! -
MM-400/LMFA・MM-800/LMFA 正確な上下動操作が軽快に行えてオペレータに負担をかけない、電動上下動タイプ。
FA三眼観察部と組み合わせることにより、高さ測定誤差を最小限に抑えることができます。 -
BW-D50X/BW-A50X ニコン独自の走査型光干渉計測技術により、1pmの高さ分解能を実現
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NEXIVの特徴
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ウエハ自動搬送システム NEXIVとウエハ自動搬送システムの組合せにより、1カセットのウエハをフルに自動測定。
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Confocal High Speed 3D Line Camera Sensor
コンフォーカル高速3Dラインカメラセンサー インライン対応 高速/非接触 3D検査 サブミクロン全数高さ検査に!! -
全周三次元測定装置MLPシリーズ