パーティクルカウンター
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液中マクロパーティクルカウンタ PC5000/PC3400 従来の監視(導電率・TOC)では評価できない、液体の「マクロ粒子汚染リスク」を抽出・モニタリング
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インテクノス リアルタイム粒子堆積モニタ APMON-アップモン- ・「落下・堆積粒子」による 付着異物を常時監視
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インテクノス 表面清浄度パーティクルモニタ PartSens-パーツセンス- 表面異物や落下塵をわずか数秒で計数可能なパーティクルモニタ