『レンズ設計･製造展 2009』出展のお知らせ – 精密機器総合技術商社株式会社菱光社

インプリント工程への提案をテーマにレンズ設計・製造展’09に出展致します！

開催期間：	2009年4月22日（水）～24日（金）10:00～17:00
会　　　場：	パシフィコ横浜(HP) ブースNo. B-31

【出展製品紹介】

	内部歪み分布を瞬時に可視化、定量評価が可能！！
		【仕様】測定範囲：1～1/4λ(130nm) 偏光画像画素数：1120×868pixel 測定波長：520nm 繰り返し精度：±0.5nm以下【用途】・WLCに用いるガラスウェハの内部歪み･射出成型時の最適な射出速度や保圧条件の割り出し・内部に発生するウェルドラインの有無
	歪みの大きさを色分け出来、偏光方向を線で可視化出来ます。

形状測定はポイントフォーカシング方式　ISO25178-605でエントリー。
ステージ走査型で、顕微鏡視野内に測定範囲が限定されません。

【仕様】
－形状－
XY測定範囲：100mm
Z測定範囲：10mm
AF軸送り精度：(0.3+0.5L/10)μm以内
AF軸再現性：σ=0.03μm以内
XY送り精度：(2+4L/1000)μm以内(スケール有)

－光学特性評価機能－
有効焦点距離
バックフォーカス(BFL)
集光位置
透過率
コマ・歪曲収差
MTF等

【用途】
・WLC工程
スタンパやインプリント基板上のレンズ形状、粗さ、ガラスウェハや厚膜表面の反り、
アライメントマークを用いた座標系に対する個々のレンズの位置精度
・射出成型時に表面に発生したウェルドラインやひけ
・半導体、MEMS、工具(バイト、エンドミル)、各種金型や射出成型部品、輪郭形状測定

驚きのローコストを実現したUV式インプリント装置

【仕様】
UV光源波長：375±5nm(光量固定)
押圧機構：エアーシリンダー
転写力：最大400N（約40kgf）
圧力調整、速度調整機構有
対応ワーク：ガラス、樹脂基板、樹脂フィルムシート

【WLCの製造工程の流れ】


ガラスウェハの内部歪み定量化用途にPA-100 ガラスウェハの反り測定用途にNH-3MA		スピンコート後の厚膜の反り測定用途にNH-3MA


		アライメントマークに対する個別レンズの位置精度確認用途にNH-3MA


実際のUV式インプリント成型及びその条件出しに EUN-4200