ウエハローダ　AL120

AL120ウェハローダは小径から200mmまでのウェハサイズに対応した、シリコン・化合物ウェハをカセットから顕微鏡ステージに搬送する装置です。極薄化するウェハも対応して、ウェハの安全・効率搬送で半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します。

広い適応性と高い信頼性

ウエハサイズ、検査内容に応じて最適な1台を選択可能

200mmウエハ専用タイプ、200mm/150mm兼用タイプ、150mmタイプ（150mm以下のウエハに対応）の3種類を用意しています。さらに検査内容に応じてミクロ検査専用モデル「Lタイプ」とミクロ・マクロ検査兼用モデル「LMBタイプ」から選択できます。

ウエハサイズ・厚さ対応表

薄ウエハ検査

高まる薄ウエハ工程ニーズに応えて、AL120-LMB-90には90umの薄さのウエハまでをカセット25枚のウエハを搬送できる新型アームを搭載しています。

ウエハの搬送と各種検査動作のアプリケーションソフトを独自に作成可能

オプションの「AL120 RS232C 通信ユニット」を利用することにより、AL120の外部制御が可能です。また、付属のDLLを使用することにより、アプリケーションソフトを簡単に作成できます。

進化した精密検査機能

進化したマクロ検査

裏面マクロ検査はキズやゴミを見つけやすい最大360゜の傾斜角に対応しています。

360゜回転機能を利用することにより、ウエハのエッジ周辺までくまなく目視検査が可能です。また、表面マクロ検査では、手元のジョイスティックで最大30°まで自由に傾けて観察できます。

裏面マクロ360°回転イメージ

容易な操作性

AL120は最大10件の検査プログラムを登録でき、多様な検査方法に一台で対応できます。この機能を使い特定のカセットやウェハにも対応でき、オペレータはボタンひとつの選択で検査プログラムを切り替えることが可能です。

高い信頼性

安全性を考慮した設計

ウエハを安全にセットできるように、装置の正面からカセットを設置するデザインを採用しています。

安全性・エルゴノミはSEMI S2/S8評価を得ており、RoHSにも対応するなど環境にも配慮しています。

堅牢で信頼のおける鏡基

AL120は、明視野、暗視野、微分干渉（DIC）、近赤外線（near-IR）、深紫外線（DUV）など多様な観察法において優れた画像の分解能と鮮明さを実現する、ウエハ検査専用顕微鏡エビデントMXシリーズに対応しています。電動のターレットと開口絞りが連動して、各対物レンズに対して最適な照度とコントラストを調整します。ご希望により、他の機種への対応も可能です。

人間工学に基づいたステージ操作

着脱が容易な手動吸着ステージは、作業の快適さと効率を最大限に向上させます。X-Y制御とウエハ回転機構は、標準機能として搭載しています。

さらに、検査工程の自動化により、ジョイスティックやあらかじめ登録したプログラムによる電動ステージの制御が可能です。ボタン一つで、ロード／アンロード位置と定位置の間をステージが移動します。