特徴
- 最速の真の共焦点センサー
- 量産製造対応３D測定
- 高い精度と正確さ
- 優れたセンサーダイナミクス
- 大きな作動距離
- 非常に堅牢なデータ収集
- NanoFocus µsprintセンサは、正確で精密な測定と高スループットを必要とする、品質保証やプロセス制御のための優れたソリューションです。
- 新しいµsprint C3xセンサは、1秒あたり500万データポイントを超え、測定速度の新しい基準を提示します。これは高精度と広い視野を組合せることによる幅広いアプリケーションに対応するソリューションとなります。
- NanoFocus µsprintセンサは、厳密な物理的定義における 高解像度・超高速共焦点顕微鏡法に基づいています。この真の共焦点測定原理に基づき、本光学システムは複数の回折限界のレーザスポットをライン上に高周波数で表面に投影します。そしてその反射光はピンホールを備えた検出器に合焦され、信号シーケンスを解析して3次元表面トポグラフィを決定します。
産業分野
半導体/自動車/医療
材料/機構/ガラス/光学/紙
