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レーザー顕微鏡 LEXT仕様

LEXTトップへ LEXT特徴 LEXT原理

測定部
構造
外形寸法
質量
試料最大高さ
耐荷重

XYステージ
専用フレーム
464×559×614.5　　　※除震台なし
56.9
100mm
10kg
マニュアル： 100×100（mm）
電動： 150×100（mm）
個注ステージ： 300×300mmサンプルも設置可能
対物レンズ
本数
倍率
作動距離
開口数
5本
5x 10x 20x 50x 100x
20.0 10.1 3.1 0.33 0.35
0.15 0.3 0.46 0.95 0.95
観察測定範囲
横（H）：μm
縦（V）：μm
2,560 1,280 640 256 128
2,560 1,280 640 256 128
モニタ上倍率  
100～
600		 200～
1200		 400～
2400		 1000～
6000		 2000～
12000
光学ズーム 1x～6x
共焦点方式 ピンホール
受光素子 フォトマルチプライヤ
測定用レーザ
光源
波長/出力
紫色半導体レーザ
408nm/0.9mW　（JISクラス2）
画像取込方法 CFOサーチ
ステップサーチ
画像取込モード Contrast
Mode
Enhance Mode
平面(XY）表示
分解能		 1024×1024　（ピクセル）
フレームメモリ
輝度：
高さ：
1024x1024x12bit
1024x1024x16bit
フレームノート 12Hz
平面（XY）測定
最小分解能
測定繰り返し性
0.12μm
分解能=Ｎ×λ/N.A.　
N：定数、λ：波長、N.A.開口数
3σ(n-1)=0.03
※対象線幅の限定無し
高さ（Z）測定
測定範囲
最小移動分解能
最小表示分解能
高さスケール
測定繰り返し性
10mm
0.01μm
0.001μm
リニアスケールによるオープン制御
3σ(n-1)=0.05+0.002L→2μm測定時：3σ=0.054
※フルストロークに於いて保証
本体制御
コントローラPCによる

・オートフォーカス　　　・オートゲイン　　　・バンドスキャン
画像処理/
2次元画像処理/
3次元画像処理
コントローラPCによる

・幅測定→自動測定可能　　　・段差測定　　
　　　　　・表面積測定
・体積測定　　　　　　　　　　 　・線粗さ測定　　　　　　 ・面粗さ測定
・レポート機能　　　　　　　 　　・2チャンネル表示

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