ウエハ厚さ測定装置　WTシリーズ

測定機

ポイントオートフォーカス法を用いて反り・厚さを高精度に測定

粗さ測定の国際規格ISO25178に準拠した測定方式、ポイントオートフォーカス法を利用してにてウェハのBOW / WARP / TTVが測定可能な装置です。
ウェハ搬送付きモデルも提案可能です。

ISO規格（25178-605）に準拠した測定ヘッドでサンプルを挟み込み測定

直同軸と回転軸の組み合せで放射状に測定を行います。

■測定項目
　・BOW / WARP / TTV
■その他特徴・機能
　・ウエハ搬送（～300mmまで）
　・Z軸方向のキャリブレーション可
　・粗さ測定
　・RFID / OCR対応　　など
■最大8ラインまで測定可能

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