YGK
ウエハ表面パーティクルスキャナ YPI-MXシリーズ
光散乱技術による高速スキャンとマッピング
株式会社YGKは、コア技術に光散乱技術を持ち、レーザー光をノンパターンウエハ表面に照射した際に生じる表面や異物からの光散乱を計測し、その情報を高速にマップ化します。
また、シリコンウエハだけでなく、レーザー光が透過し、表面と裏面からの光散乱が生じる透明ウエハ表面のみを計測する技術を持ちます。
