長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様でご提案が可能です。
- 処理槽やリンス槽の数、乾燥方式等カスタマイズ可能。
- RCA洗浄装置の製作が可能。
- メンテナンス性に優れた、背面上部搬送機タイプ。
- 揺動機構に対応。
- ウエハー回転機構に対応。
- 酸・アルカリ系と有機溶剤の混在仕様も対応可能。
- 角基板、小片ウエハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能。
- エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。
※対象薬液はご相談ください（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど）
カスタマイズ
・漏洩センサー
・排気圧センサー
・非常停止スイッチ
・一時停止スイッチ（自動メカ付）
・扉センサー（自動メカ付）
・圧力スイッチ
・温度センサー（恒温度仕様）
・自動消火システム（有機用）
・パトライト
・網入りガラス又は強化ガラス（有機用）
・爆圧ハッチ（有機用）
・各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もあります。
