６インチステージ 表裏位置ずれ計測システム
製品の特徴
・6インチＸＹステージを搭載！
・水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！
・表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！
・表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正！
・±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（被写体や環境条件により異なる）
・表裏２ｃｈオートフォーカスユニット組み合わせ可能！（オプション）
・電動ＸＹステージ制御システム開発中！
・装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
用途
観察
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録
- 落射、透過、落射+透過撮影が可能。
- 表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、表裏重ね合わせ表示、手動寸法測定。
寸法・表裏位置ずれ計測
プリント基板貫通穴、メッシュフィルター、水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、寸法計測
- 表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測。
- エッジを自動で検出し、測定個人差の無い表裏パターンの線幅／寸法計測。
特徴
両面映像芯出し
倍率補正機能
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示し、ずれ量を計測
表示し、ずれ量を計測
マークのエッジから中心座標を
自動検出し高精度に計測が可能
自動検出し高精度に計測が可能
仕様
概略仕様
| 光学系 | 正立、倒立 |
| 対物レンズ | 5倍、10倍、20倍、50倍から選択 |
| 粗微動調整 | 正立、倒立（手動） |
| XY稼働範囲 | 150mm×150mm |
| 照明 | 白色LED照明（変更可、ソフト制御） |
| カメラ | 正立、倒立 計2個 |
| センサー | 1/1.8型CMOSモノクロ（カラー可） |
| 画素数 | 300万画素 |
| ソフト機能 | 表裏光軸補正機能 表裏同時撮影、ファイリング 表裏合成表示 表裏寸法手動計測 表裏寸法自動計測（オプション） 表裏位置ずれ手動計測 表裏位置ずれ自動計測（オプション） |
電動ＸＹステージ制御システム
電動ＸＹステージを組み合わせて、あらかじめ指定した複数箇所のＸＹステージ座標に移動し、自動ピント合わせと中心座標の自動検出、ずれ測定を繰り返す自動測定システムを開発中（搬送機は含まず）。
【電動ステージ付両面顕微鏡】
【モニター、ソフトイメージ】
