WPA-200

主な特徴

基本原理

高次位相差の測定原理

• PA-200の位相差測定上限は130nmですが、更に大きな位相差の面分布を評価したいという御要望がありました。
  そこで、新開発のワイドレンジ偏光イメージセンサーを開発し、測定限界を2倍の約260nmに広げることに成功しました
• ワイドレンジ偏光イメージセンサーには、測定レンジが広いだけではなく、動作波長範囲も広いという特徴があります
• WPA-200では、ワイドレンジ偏光イメージセンサーと可変波長フィルタ、広帯域LED光源を組み合わせることにより、多波長測定が可能になりました

  複数の波長で測定した結果を、厳密な光学計算アルゴリズムを用いて比較演算することにより、更に大きな位相差の測定が可能になりました(右下グラフ)

• WPA-200の操作方法は、PA-200同様に簡単です
  はじめに測定物を置かない状態で光源を撮影します
  あとは、サンプルをのせて測定ボタンをクリックするだけで、次々にサンプル全面の複屈折分布を測定できます

主な仕様

標準タイプに加えて、光源サイズの大きなWPA-200-Lもあります

	WPA-200	WPA-200-L
測定
測定範囲	0～3000nm程度（注１）
繰返し再現性	1.0nm以下
センサユニット
複屈折画素数	384×288（≒11万）pixels
測定波長	523nm,543nm,575nm
筐体
寸法	270×340×560 mm	430×490×910 mm
測定視野サイズ	24×32 mm ～ 100×133mm （標準レンズ）	33×44 mm ～ 240×320mm （標準レンズ）
	3.6×4.8 mm ～ 12.9×17.2mm （ズームレンズ ※オプション）
重量	13 kg	23 kg
その他
インターフェース	GigE(カメラ信号)
電源 / 消費電流	AC100～240V(50/60Hz) / ～5.0A
ソフトウェア	WPA-View
付属品	ノートパソコン、標準レンズ、取扱説明書

注１）測定対象の材質によるより計測可能な範囲が異なります。
※製品仕様は予告無しに変更することがあります。
※本製品で計測できる内部歪みは光学的に測定され、測定値は光学位相差(単位:nm)で表示されます。

ソフトウェア

ソフトウェア　WPA-View の機能

• 付属のWPA -Viewは、WPA-200の操作と取得した膨大なデータの解析・保存など、一連の操作を簡単に行える専用ソフトウェアです
• ボタンクリックによる簡単操作
  御好評をいただいているPA-200の操作性そのままに、サンプルをステージに置いて測定ボタンを押すだけの簡単操作で、次々に位相差の面分布測定が行えます
• 多彩なデータ表示機能
  複屈折/位相差分布の様々な表示機能が充実しています。また、任意位置の位相差情報表示、位相差のベクトル表示、任意ライン上の定量解析、位相差量を高さにとった３D表示、任意領域のヒストグラム、任意閾値以上の領域表示など、様々にデータ解析ができます

• 測定データの柔軟な出力機能測定されたあらゆる面分布データ、グラフデータ、ヒストグラムは、 csv形式やテキスト形式でデータ保存できますので、Ｅxcelなどの外部ソフトでグラフ化、解析が容易です

測定例