画像解析40年以上の経験が高精度な検査を実現
Cosmo Finderは画像処理、画像計測のプロである三谷商事が作る自動外観検査装置です。
「6インチウエハ全面検査5分＠5Xレンズ」のスピードを確保しつつ、高性能かつ低コストを実現しました。
従来の装置メーカーが提供する外観検査装置とは異なる、今まで無かったポジションの「画像処理メーカーが作る外観検査装置」にお任せください。
システムインテグレーションを得意として、40年以上の経験とノウハウにより、豊富なオプションと、お客様ごとの要望に合わせた柔軟な拡張性を実現いたします。
製品特徴
高性能検出アルゴリズム
一般的な2値化処理だけでなく、良品学習を用いた差分処理など多数の画像処理を用意しております。最適な方法を選択し、多様な欠陥を検出します。
今まで検出が困難だった異物やキズなどの検査にもCosmo Finderが威力を発揮します。
・重なり合うような異物や傷があっても検出可能です。
・研磨傷内にある異物や打痕も正確に捉えます。
簡単操作
複雑な操作は必要ありません。撮影範囲レシピ（チップバターン・マップ登録）、画像処理レシピを組み合わせるだけで簡単に検査を実行可能です。
利用場所を限定しない省スペース設計
コンパクトなデザインにより、フットプリント1m x 1mを実現しました。
本体内部に光学ユニット、駆動ユニット、画像処理ユニット、制御ユニットをビルトインし、省スペースながらハイパフォーマンスを実現。製造工程からＲ＆Ｄ部門まであらゆるシーンで利用していただくことができます。
柔軟な拡張性
豊富なオプション・カスタマイズ対応が可能です。
様々なオプション対応により、サンプルの特性に合わせたカスタマイズや前後の工程とのジョイントもご対応いたします。気軽にご相談ください。
■ローダー・アンローダーユニット
■吸着ユニット
■エクスパンド、バッググラインディング済みウェハ対応
■刻印文字の認識、バーコード・QRコード対応
■GEMなどを利用した上位システムとの連携
■安全対策・・・など
システム構成
| 標準スペック |
|
| ウエハサイズ |
6インチ、8インチ |
| 検出方式 |
顕微鏡画像処理方式（輝度抽出、オプション：AI Deep Learning) |
| 検出時間 |
6インチ：約5min/wafer (5xレンズ) / 約15min / wafer (10xレンズ)
8インチ：約8min/wafer (5xレンズ) / 約30min / wafer (10xレンズ) |
| 分解能 |
1.38μm (5xレンズ) / 0.69μm (10xレンズ) |
| カメラ |
2/3型 500万画素CMOSカメラ |
| 光源 |
白色LED |
| オートフォーカス |
画像AF、レーザーセンサ事前スキャン、追従式AF |
| 外径寸法 |
W635 x H1,737 x D1,038 (mm) |
| 装置重量 |
約130kg |
| オプション・カスタマイズ例 |
|
| 自動搬送ウエハローダー（フルオート検査対応） |
特殊画像処理、AI Deep Learning検査対応 |
| 各種ウエハ・ワーク対応（2～12インチウエハ、エクスパンド済ウエハ、枚葉式フィルム、ガラス基板 等） |
| 前工程NGチップ情報入力、NGマークインキング |
SiCウエハ欠陥分類機能（ヒートマップ作成機能） |
| ウエハID文字認識・2次元コード読み取り対応 |
GEMなどの上位システム通信対応 |
| 出力レポート専用フォーマット対応 |
安全対策対応 etc… |
