小坂研究所
接触式段差計 Nano Texturer
膜厚、段差測定等、レシピ自動測定に最適！
・ワイドレンジ検出器・・・1300μm
・X、Y方向両軸測定・・・ワーク置直し不要。タクト軽減に貢献。
・直動方式検出器・・・世界唯一の構造で高精度・高再現性を実現。