MEMS センサー用検査装置

Micro Electro Mechanical Systems

　　▼　MEMS　3軸加速度センサー量産用校正・検査装置ベースモデル

MEMS　ベースモデル
■	スループット：MAX 1,200デバイス/hをめざした量産用モデル
■	試験温度範囲：低温（-40℃、-30℃、-20℃など）から高温（+85℃）間の任意の温度で検査することができます
■	検査姿勢制御：3軸　0～360度任意位置（ただし、無線データ伝送方式の場合）
■	総合姿勢精度：±1.0度
■	ローダ・アンローダを装備した自己完結型（セルシステム）
■	異なるロット混在でのテストが可能



流れ：ローダ → 常温チャンバー → 低温チャンバー → 高温チャンバー → アンローダ

　　▼　ICソケット・プローブユニット

お客様のデバイスパッケージに合わせて制作いたします

　　▼　加速度センサー対応

θ2の等速度回転及び　周波数応答性測定用機構により対応

　　▼　ご相談ください！！

MEMS圧力センサー、地磁気センサーなどご要求に応じた検査システムを実現します

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