微細形状測定機 サーフコーダ ETシリーズ
ET4000
ET200
- 高精度高さ再現性 1σ=0.5nm以内
- 垂直アクチュエーター機構採用
※テコの原理でない - 低測定力 最小0.5μN～
精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。
ET5000
回転鳥瞰図
等高線図
|
ET200
|
ET4000
|
ET5000A
|
|
|---|---|---|---|
| 装置名 | 微細形状測定機 サーフコーダ ＥＴシリーズ | ||
| 接触式／非接触式 | 接触式 | ||
| 方式 | 垂直アクチェエーター方式 | ||
| 最大サンプルサイズ | φ160厚さ48mm | 210×210～530×390mm厚さ 50mm | 920×730mm 厚さ 50mm |
| 再現性 | 1σ 1nm以内 | 1σ 0.5nm以内 | 1σ 1nm以内 (ステージ中央) |
| 測定可能範囲 | Z:600μm X:100mm Y:25mm手動 |
Z:100μm X:100mm Y:150～400mm電動 |
Z:100μm X:200mm Y:1000mm電動 |
| 分解能 | Z:0.1nmX:0.1μm | Z:0.1nmX:0.01μm | Z:0.1nmX:0.1μm |
| 測定力 | 10μN～500μN | 0.5μN～500μN | 0.5μN～500μN |
