表面形状・粗さ測定機 サーフコーダ DSFシリーズ
輪郭形状と表面粗さを同時に測定できます。
DSF600
DSF900
DSF600 | DSF900 | |
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Z分解能 /測定範囲 |
0.0075μm/5mm
(0.012μm/8mm) |
0.00075μm/12mm
(0.0015μm/24mm) |
Z検出方式 | – | 半導体レーザースケール |
触針 |
R2μm/0.75mN/60°
R25μm/10mN/25° |
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解析項目 | 形状解析(要素スカラ量、統計量、公差判定) 表面粗さ (JIS,ISO,DIN,ANSI,BS) 表面うねり(JIS) |
形状解析(要素スカラ量、 統計量、公差判定、マスタ比較) 表面粗さ (JIS,ISO,DIN,ANSI,BS) 表面うねり(JIS) |