NH-3Ns/4Ns
◆スタンダード機
断面・三次元・空間座標・アライメントなど多数の機能を搭載した標準システム
NH-3SPs
◆最高精度モデル
測定精度を極めたZ分解能1nmの高精度モデル。レンズ・光学金型形状測定に対応
NH-5Ns
◆スタンダード機
門型構造で精密金型など大型重量物の高精密測定を実現
| 装置名 | NH-3Ns | NH-4Ns | NH-3SPs | NH-5Ns |
|---|---|---|---|---|
| スケール分解能（X,Y） | 0.1um | 0.1um | 0.01um | 0.1um |
| スケール分解能（高さ方向） | 0.01um | 0.01um | 0.001um | 0.01um |
| 稼動範囲（X,Y） | 150x150mm | 250x200mm | 150x150mm | 300x400mm |
| 稼動範囲（高さ方向） | 10・15・20・100mm以上から選択可能 | |||
| 対物レンズ | 10x,20x,50x,100xレンズ標準搭載 | |||
| OS、ソフトウェア | Windows10 日本語、英語 | |||
| オプション例 | ・急傾斜測定ユニットSE（スティッチング）ステージ ・光学特性評価MA機能（透過率・焦点位置・ビームプロファイル） ・非球面形状評価ソフト ・画像処理機能 ・レンズアレイ/マトリクス測定ソフト |
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