マイクロレンズアレイ形状／光学特性評価装置　NH-3MAs

NHシリーズにおける基本的な形状測定機能がすべて搭載されており、レンズや金型の断面形状を測定し、曲率や中心座標を専用ソフトウェアで一括測定できます。

画像処理による光学測定評価

右下図の測定光学系により平行光の集光像（ピンホールスリットの像）を顕微鏡レンズで拡大し、CCDカメラで画像を取り込みます。その画像に対して画像処理を行うことによりレンズの光学特性を評価します。

多点に及ぶマイクロレンズアレイ（MLA）も一括同時測定

専用のマトリックス測定ソフトによって配列パターンを記憶し、スムーズに自動測定ができます。細微化、大面積化が進むMLAの研究開発、品質管理に最適です。

主な機能

レンズ形状測定（レーザプローブによる測定）

• 各レンズ表面の曲率半径、中心座標値
• 真円度
• 頂点の高さ、XY座標
• 断面・三次元形状測定、表面粗さ測定

光学特性評価（画像処理による測定）

• 有効焦点距離
• バックフォーカス、MLAの実効焦点距離
• 各レンズの集光位置、位置ズレ
• 各レンズの集光スポットサイズ
• 透過率
• 焦点面での結像評価（コマ収差、歪曲収差など）
• 焦点深度（オプション）
• MTF測定（オプション）

測定例

NH-3MAsが得意な測定例

• マイクロレンズアレイ

可能な測定例

• フレネルレンズ金型
• 回折格子
• ハンダ体積
• HDサスペンション
• ICパターン
• 非球面レンズ金型表面
• 指紋
• 髪の毛
• ハーフミラー蒸着ムラ
• ダイヤモンド砥粒
• チップバイトの刃先
• BGA
• ウェハのそり、うねり形状
• 研削面のビビリ模様
• ブレーキパッドの摩耗量測定
• 精密ギヤ歯面