NEXIV VMZ-H3030 高精度タイプ
NEXIVシリーズの中で最高精度の測定を実現
精密なステージ動作と高性能な工学系により使いやすさとともに、スピーディ、かつNEXIVシリーズの最高精度での測定を実現
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NEXIV VMZ-H3030 |
主な特徴
NEXIVシリーズの最高精度モデル
EUX,MPE,EUY,MPE：0.6+2L/1000μm
EUZ,MPE：0.9+L/150μm
XYZストローク：300X300X150mm
測定タイプに応じた5タイプのズームヘッド
| 光学ヘッド | 光学倍率 | 主な測定対象 |
| タイプ1 | 0.5X – 7.5X | 金型、機械部品（家電、自動車）、PCB、電子部品、セラミック部品 |
| タイプ2 | 1X – 15X | |
| タイプ3 | 2X – 30X | 各種電子部品 |
| タイプ4 | 4X – 60X | 微細パッケージ基板（ライン幅、高） |
| タイプ5 | 1X – 120X | ウェハパターン（WLP、バンプ高さ、再配線用マスク、MEMSマスク |
仕様
| ストローク（X,Y,Z） | 300X300X150mm |
| 最小表示単位 | 0.01μm |
| 被検物最大質量 | 30kg（精度保証値：10kg） |
| 測定精度 | EUX,MPE,EUY,MPE：0.6+2L/1000μm EUXY,MPE,：0.9+3L/1000μm EUZ,MPE：0.9+L/150μm |
| 精度保証環境 | 20℃±0.5K |
| 駆動最高速度（XY,Z） | 100mm/s、50mm/s |
| 駆動最低速度（XY,Z） | 0.01mm/s、0.001mm/s |
| カメラ | 白黒1/3″型CCD、カラー1/3″型CCD ※カラータイプはタイプ１、２、３のみ対応 |
| 作動距離 | タイプ1、2、3：50mm（75度のLED照明使用時は10mm） タイプ4：30mm タイプTZ：31mm（低倍）、11mm（高倍） |
| 倍率 / 視野 | タイプ1：0.5-7.5x / 9.33×7.01-0.622×0.467mm タイプ2：1-15x / 4.67×3.50-0.311×0.233mm タイプ3：2-30x / 2.33×1.75-0.155×0.117mm タイプ4：4-60x / 1.165×0.875-0.078×0.058mm タイプTZ：1-120x / 4.67×3.5-0.039×0.029mm |
| オートフォーカス | イメージAF、レーザーAF |
| 照明 | タイプ1、2、3、4：垂直落射、透過、8分割リング ※全系統白色LED光源/タイプ1、2、3は角度/タイプ4は1角度 タイプTZ：垂直落射、透過、暗視野 |
| 供給電源 | AC100 – 240V ±10% 50/60Hz |
| 消費電流 | 5A – 2.5A |
| 寸法（W x D x H）/質量 | 本体＋測定台：1000x1125x1750mm/約500kg コントローラ：190x450x440mm/約15kg |
| 設置寸法（W x D） | 3000x2800mm |
