コンフォーカル NEXIV VMZ-Kシリーズ
対物レンズの選択により、微細な高さ測定まで実現したVMZシリーズ
2つのステージストロークを用意
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NEXIV VMZ-K3040 |
NEXIV VMZ-K6555 |
コンフォーカル光学系の基本原理
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合焦時は共焦点画像としてカメラが検出します。非合焦時（会焦位置に被見物が存在しない場合）は、カメラが検出しません。 |
 ニコンオリジナルLFC光学系：Low Flare Confocal Optics |
高コントラスト／段差のあるサンプル（プリント基板銅線等）
明視野画像による2次元測定に加え、共焦点光学系による視野内一括高さ測定が行えます。明視野では検出しにくいエッジも、共焦点ではクリアに検出することが可能です。
測定例
 3D画像（先端のみ検出） |
 明視野像 |
 3Dビューアソフトウェア（オプション）による鳥瞰図 |
 明視野像 |
 3D画像：全ワイヤの最高点を一括検出 |
 3D画像：ワイヤの高さプロファイル表示 |
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仕様
| モデル | VMZ-K6555 Type-H | VMZ-K6555 Type-S | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 高倍ヘッド | 標準ヘッド | ||||
| 対物レンズ | |||||
| 倍率 | X30 | X15 | X7.5 | X3 | X1.5 |
| W.D. | 5mm | 20mm | 5mm | 24mm | 24mm |
| 共焦点光学系（エリア高さ測定） | |||||
| 最大高さスキャン範囲 | 1mm | ||||
| 視野範囲 | 0.4X0.3mm | 0.8X0.6mm | 1.6X1.2mm | 4X3mm | 8X6mm |
| 繰り返し精度（2σ） | 0.2μm | 0.25μm | 0.25μm | 0.35μm | 0.6μm |
| 高さ分解能 | 0.01μm | ||||
| 明視野光学系（二次元測定） | |||||
| 変倍方式 | 電動5段ズーム | ||||
| 視野範囲 | 0.63X0.47～0.05X0.04mm | 1.26X0.95～0.1X0.074mm | 1.6X1.2～0.11X0.08mm | 4X3～0.27X0.2mm | 8X6～0.53X0.4mm |
| 照明 | 透過、同軸落射 | 透過、同軸落射、斜光 | |||
| 照明光源 | 白色LED | ||||
| オートフォーカス | TTL レーザAF／イメージAF | ||||
| 本体 | |||||
| ストローク（X,Y,Z） | 650mmX550mmX150mm | ||||
| 精度保証質量 | 30kg | ||||
| XY測定精度 | 1.5+2.5L/1000μm（U1X/Y） | ||||
| 2.5+2.5L/1000μm（U2X/Y） | |||||
| Z測定精度 | 1+L/1000μm | ||||
| 本体重量 | 830kg | ||||
| 供給電源/消費電源 | AC 100~240V±10% 50/60Hz /10A~5A | ||||
| 環境条件 | 温度：20℃±0.5K/湿度：70%以下 | ||||
| 取得規格 | CEマーキング（低電圧／EMC／レーザ） | ||||
| 設置寸法（W X D） | 2500X1900mm | ||||
| モデル | VMZ-K3040 Type-H | VMZ-K3040 Type-S | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 高倍ヘッド | 標準ヘッド | ||||
| 対物レンズ | |||||
| 倍率 | X30 | X15 | X7.5 | X3 | X1.5 |
| W.D. | 5mm | 20mm | 5mm | 24mm | 24mm |
| 共焦点光学系（エリア高さ測定） | |||||
| 最大高さスキャン範囲 | 1mm | ||||
| 視野範囲 | 0.4X0.3mm | 0.8X0.6mm | 1.6X1.2mm | 4X3mm | 8X6mm |
| 繰り返し精度（2σ） | 0.2μm | 0.25μm | 0.25μm | 0.35μm | 0.6μm |
| 高さ分解能 | 0.01μm | ||||
| 明視野光学系（二次元測定） | |||||
| 変倍方式 | 電動5段ズーム | ||||
| 視野範囲 | 0.63X0.47～0.05X0.04mm | 1.26X0.95～0.1X0.074mm | 1.6X1.2～0.11X0.08mm | 4X3～0.27X0.2mm | 8X6～0.53X0.4mm |
| 照明 | 透過、同軸落射 | 透過、同軸落射、斜光 | |||
| 照明光源 | 白色LED | ||||
| オートフォーカス | TTL レーザAF／イメージAF | ||||
| 本体 | |||||
| ストローク（X,Y,Z） | 300mmX400mmX150mm | ||||
| 精度保証質量 | 20kg | ||||
| XY測定精度 | 1.5+2.5L/1000μm（U1X/Y） | ||||
| 2.5+2.5L/1000μm（U2X/Y） | |||||
| Z測定精度 | 1+L/1000μm | ||||
| 本体重量 | 850kg | ||||
| 供給電源/消費電源 | AC 100~240V±10% 50/60Hz /10A~5A | ||||
| 環境条件 | 温度：20℃±0.5K/湿度：70%以下 | ||||
| 取得規格 | CEマーキング（低電圧／EMC／レーザ） | ||||
| 設置寸法（W X D） | 2500X1600mm | ||||
