進化した第4世代のNEXIVシリーズ
多彩な立体部品の寸法・形状をより高速・高精度に自動測定。サンプルに応じたきめ細かな設定が可能。
従来機種の「NEXIV VMZ-R」シリーズの精度を維持しながら、更なる高スループット化を実現しました。
従来機種の「NEXIV VMZ-R」シリーズの精度を維持しながら、更なる高スループット化を実現しました。
VMZ-S3020
VMZ-S4540
VMZ-S6555測定用途に応じた6タイプの光学15倍ズームヘッド
3種6タイプの光学15倍ズームヘッドをご用意。被検物の大きさや要求精度に合わせ、最適なソリューションを実現いたします。
※総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA（1920×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
※1画素のサイズは目安となります。
厚さ0.1mmの透明体も検出
TTLレーザオートフォーカスの新開発により、検出性能が大幅に向上。従来の高速/高精度測定に加え、LCD保護膜等を代表とする微小な透明体の厚み検出も可能になりました。（※タイプAヘッドを除きます）
 新レーザーオートフォーカス 新開発センサにより、表面／裏面の信号を分離して正しく検出できます。 |
  カバーガラス（光学8x）／タイプ2ズームヘッド使用時 |
仕様
| モデル | VMZ-S3020 | VMZ-S4540 | VMZ-S6555 | |
| ストローク（X,Y,Z） | 標準モデル （タイプ1～4） |
300X200X200mm | 450X400X200mm | 650X550X200mm |
| タイプTZ （高倍対物使用時） |
300X200X200mm | 450X400X200mm | 650X550X200mm | |
| タイプTZ （低倍対物使用時） |
250X200X200mm | 400X400X200mm | 600X550X200mm | |
| タイプA | 300X200X200mm | 450X400X200mm | 650X550X200mm | |
| 最小表示単位 | 0.01μm | |||
| 被検物最大質量 | 20kg （精度保証値：5kg） |
40kg （精度保証値：20kg） |
50kg （精度保証値：30kg） |
|
| 測定精度 ※Lは測定長さ（mm） |
EUX,MPE EUY,MPE:1.2+4L/1000μm EUXY,MPE:2+4L/1000μm EUZ,MPE:1.2+5L/1000μm |
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| 最大許容プロービング誤差 1),2)：MPE PF2D0.8μm 最大許容プローブプロービング誤差 1),2)：MPE PFV2D0.3μm |
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| カメラ | 白黒/カラー 1/3型CMOS | |||
| 作動距離 | タイプ1～3 | 50mm | ||
| タイプ4 | 30mm | |||
| タイプTZ | 高倍対物使用時：11mm 低倍対物使用時：32mm | |||
| タイプA | 73.5mm（レーザAF部63mm） | |||
| 倍率 / 視野 | タイプ1 | 0.5～7.5x / 9.33×7～0.622×0.467mm | ||
| タイプ2 | 1～15x / 4.67×3.5～0.311×0.233mm | |||
| タイプ3 | 2～30x / 2.33×1.75～0.155×0.117mm | |||
| タイプ4 | 4～60x / 1.165×0.875～0.07×0.068mm | |||
| タイプTZ | 1～120x / 4.67×3.5～0.039×0.029mm | |||
| タイプA | 0.35～3.5x / 13.3×10～1.33x1mm | |||
| オートフォーカス | レーザーAF（タイプAはオプション）／イメージAF | |||
| レーザー繰り返し精度 1),3) | 2σ≦0.5μm | |||
| 照明 | タイプ1～4 | 垂直落射、透過、8分割リング照明 ※全系統白色LED光源/タイプ1、2、3は3角度、タイプ4は1角度 |
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| タイプTZ | 垂直落射、透過（VMZ-S3020の低倍側を除く）、暗視野照明 | |||
| タイプA | 垂直落射、透過、8分割リング照明 ※全系統白色LED光源/1角度 |
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| 供給電源 | AC100V – 240V、50/60Hz | |||
| 消費電流 | 4A – 2A | |||
| 寸法（W x D x H）/質量 | 本体＋測定台 | 700x730x1793mm/ 約265kg |
1000x1340x1818mm/ 約510kg |
1200x1640x1818mm/ 約740kg |
| コントローラー | 190x450x440mm/約12kg | |||
| 設置寸法（W x D） 4) | 2700x2400mm | 3000x3000mm | 3200x3300mm | |
1)自社が定めた評価方法による。 2)Type2ヘッド 15倍時 3)サンプル：キャリブレーションプレートのクロム
4)メンテナンススペースを含む。
