後継機種:FPD / LSI検査顕微鏡 ECLIPSE L300ND / L300N / L200ND / L200N
反射照明観察では、明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察に加えて、UV(365nm)励起を含む落射蛍光観察(L200ND)が可能です。
半導体レジストの残渣や有機ELディスプレイの観察などで威力を発揮します。
エクリプスL200ND
後継機種:FPD / LSI検査顕微鏡 ECLIPSE L300ND / L300N / L200ND / L200N
反射照明観察では、明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察に加えて、UV(365nm)励起を含む落射蛍光観察(L200ND)が可能です。
半導体レジストの残渣や有機ELディスプレイの観察などで威力を発揮します。