半導体・FPDなどの検査をより快適に、より効率的に
MX63/MX63Lは最大300mmサイズのウエハーや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。
さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供することができます。
さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供することができます。
主な特徴
○安定した色温度特性の高輝度白色LED照明
高輝度な白色LED光源で、落射および透過照明観察が可能です。LED照明は観察時の明るさを変えても、画像の色合いが変わらないため、つねに鮮明な画像を得ることができます。また、LEDは発熱が小さく長寿命のためコストも抑えられ、さらにランプ交換の手間も少なくなります。
明るさによって色合いが変わらず、ハロゲンランプよりクリアな色合いで観察可能
※画像はすべて自動露出にて取得
※画像はすべて自動露出にて取得
○見えなかったものが見える:MIX観察
明視野や簡易偏光や蛍光などと暗視野の照明方法を組み合わせることで、従来にはない見えを実現します。また、暗視野照明は任意の4方向から照射でき、検査サンプル内の対象物をより効果的に強調できます。
アプリケーション
従来からある顕微鏡の多彩な観察法によって、お客様の多様なサンプルや検査目的に対応します。
さらにMIX観察や落射・透過照明を同時点灯した観察など新たな観察法も利用可能なのでより目的に適した画像を取得することできます。
○フィルム素材（明視野観察 / 偏光観察）
明視野観察では見えない数nmレベルの微小段差にコントラストをつけることにより、立体的に可視化する観察方法です。サンプルの特性に応じて適切な解像度とコントラストが得られるよう、3種類の微分干渉プリズムを用意しています。ハードディスク表面、ウエハー研磨表面の異物やキズの検査などに適しています。
○ハードディスク（明視野観察 / 微分干渉観察）
明視野観察では見えない数nmレベルの微小段差にコントラストをつけることにより、立体的に可視化する観察方法です。
サンプルの特性に応じて適切な解像度とコントラストが得られるよう、3種類の微分干渉プリズムを用意しています。ハードディスク表面、ウエハー研磨表面の異物やキズの検査などに適しています。
サンプルの特性に応じて適切な解像度とコントラストが得られるよう、3種類の微分干渉プリズムを用意しています。ハードディスク表面、ウエハー研磨表面の異物やキズの検査などに適しています。
○ウエハサンプル上のフォトレジストの残渣（蛍光観察 / MIX：蛍光＋暗視野観察）
ある波長域の励起光を照射し、サンプルから発する蛍光を観察します。
ウエハー表面の異物検出、レジスト残渣、蛍光探傷法によるマイクロクラック検出などに有効です。可視光から近赤外光までをムラなく観察できるように色収差補正したアポクロマートタイプの水銀光源も用意しています。
ウエハー表面の異物検出、レジスト残渣、蛍光探傷法によるマイクロクラック検出などに有効です。可視光から近赤外光までをムラなく観察できるように色収差補正したアポクロマートタイプの水銀光源も用意しています。
※蛍光＋暗視野のMIX観察を利用すれば、ウエハー上のパターン形状と蛍光観察で検出可能な異物を同時に鮮明な画像として観察できます。
