アプリケーション
タングステンSEMの操作性はそのままに
より高分解能観察と分析が可能なシステム。
- Zeromag搭載で視野探しが容易
- LiveAnalysis搭載で分析も効率化
- 広視野貼合背機能標準搭載
- 高輝度電子銃搭載で×100,000観察可能
- 新開発Auto調整機能により誰でも簡単操作
- サブミクロン領域のEDS分析が可能
新機能Zeromag
CCD光学像から視野拡大が可能となり、マクロ画像から高倍率観察までストレスなく可能
LiveAnalysis機能
SEM観察中に常にEDSスペクトルが表示できるようになりました。
予め着目元素を登録すればアラート機能で表示可能なので分析作業が効率的に行えます
高速・長時間マッピング機能
高輝度電子銃採用により高倍率マッピングも高分解能で評価可能。
試料：金粒子 加速電圧：×20kV 撮影倍率：×50,000 マッピング時間：70秒
