設定不要で高精度な測定を
測定したいサンプルをステージにおいて、スタートボタンを押すだけ。誰でも高精度な測定結果が得られます。
・独自のアルゴリズムにより、測定結果の精度と測定スピードの向上を両立
・オペレーターの習熟度に依存した調整作業をスマートスキャンIIにより完全自動化。スタートボタンを押すだけで高精度かつスピーディーな測定が可能。
・お客様の使用環境下で測定性能を保証*
・ ISO/IEC 17025認定校正ソリューション
*精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。
機能のご紹介
実験トータルアシスト
実験準備からレポート作成まで、一連の作業を効率化
取得データ一覧表示・ファイル名自動生成・ヒートマップ表示機能など、実験計画に沿った画像取得や解析をサポート、かつ測定結果を一括管理
・データ取得のミスを低減し手戻りを防止
・ファイル名の入力不要
・測定結果の異常値をリアルタイムで可視化
スマートレンズアドバイザー
表面粗さ測定に最適なレンズ選択をアシスト
独自のアルゴリズムを用いた新開発の『スマートレンズアドバイザー』により、選択したレンズが測定するサンプルに適しているかを簡単に判定することができます。表面粗さの測定を行う前に最適なレンズを選定できるため、不適切なレンズ使用によるデータ取得を未然に防ぎ、測定結果の信頼性が向上します。
製品ラインナップ
高さのあるサンプルや、300mmウエハなどの大きいサンプルにも対応可能な製品ラインナップがございます。
お客様の仕様にあわせたカスタマイズ対応も可能です。
