三鷹光器はこれまでに、宇宙開発機器の技術を産業界に応用し、各業界の原器となる精密機器を製作してまいりました。
なかでもレーザオートフォーカスを用いた非接触形状測定装置は国内の半導体産業や超精密加工分野で広く普及し、
その実績から、日本の測定技術としてISO25178-6：2010(表面性状の測定方法の分類）に2014年2月‘ポイントオートフォーカスプローブ’と命名され登録されました。
今後も世界に向けてこの“新技術”を提供してまいります。
◇◆ポイントオートフォーカスプローブ・測定原理◆◇
ISO 規格の測定原理により、信頼性の高いデータを提供します
本測定器は、高さ測定用レーザオートフォーカス（AF）顕微鏡と高精度XYZステージにより構成されています。
顕微鏡鏡筒部に送り込まれたレーザ光は対物レンズを通り光軸中心の焦点面に向かって進み、ワーク表面に反射して再び対物レンズを通ってAFセンサ上に結像します。
デフォーカス時レーザスポットはセンサ上で位置が変化するのでこの位置変化をセンサが捉え、AF駆動機構を用いて対物レンズをフォーカスポイントへ位置決めします。
自動XYステージでワークをスキャニングさせフォーカスした各点のXYZ値を取り込み形状測定を行います。
この方式はワーク表面の色や反射率の影響を受けることなく、顕微鏡視野サイズに依存しない、広範囲の高精度測定を実現します。
また、従来のインデックス測定モードに加えてスキャンオートフォーカスモードを搭載したことにより、粗さ測定などでの高速測定を実現しました。
-
ISO25178-6：2010 (JISB0681-6：2014）(表面性状の測定方法の分類）
-
本測定原理は、ISO国内委員会にて三鷹光器㈱がプロジェクトリーダとなり測定原理をISOに提案（日本からは初めて）し、2008年に“Point autofocus profiling”と命名され、2014年2月に正式にISO 25178-605：2014（point autofocus probe ）として公布されました。
- ISO 25178-6 : 表面性状測定法の分類
-601：触針（スタイラス）式測定装置の一般特性
-602：非接触（色収差共焦点プローブ）式測定装置の一般特性
-603：非接触（位相シフト干渉顕微鏡）式測定装置の一般特性
-604：非接触（コヒーレンス走査干渉顕微鏡）式測定装置の一般特性
-605：非接触（ポイントオートフォーカスプローブ）式測定装置の一般特性
-606：非接触（全焦点画像顕微鏡）式測定装置の一般特性
◇◆特徴◆◇
表面の色/反射率に依存しない高精度測定
表面の反射率わずか0.5％程度のコーティングガラスから反射率90％以上の鏡面までダイレクトに計測することが可能です。
優れた角度追従性
高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にしました。
非接触測定でプローブが摩耗しない
非接触測定は、最大の利点である『測定対象を傷つけない』に加えて、接触式のプローブ摩耗のような消耗品が少ないこともメリットとなります。
プローブの摩耗のような継続的な変化がありませんので、日常の管理も容易です
測定点の観察が可能
測定点のレーザスポットとワーク表面の観察が常に可能です。画像処理により、エッジ検出、円測定が可能です。
ノマルスキー微分干渉観察が可能
ノマルスキー微分干渉光学系をNHの顕微鏡部に搭載することにより、通常の明視野光学系では観察できない数Aの表面粗さやキズを視覚的に捉え、レーザプローブを用いてその場で定量的な粗さ、段差測定を行うことができます。
高精度、高剛性XYステージ
XYステージは、“高精度測定＝しっかりとしたメカ”の概念を持って一台一台丹念に仕上げ、検査を施しているため、高精度な走り平行度を実現しています。
空間座標
NHシリーズは多彩な空間座標構築機能により、ワークに応じた測定補助が可能です。
測りたいところだけを的確に指定することにより、効率的な品質管理が可能です
