自動線幅測定システム VP-5シリーズ

特徴

1. 最小測定線幅：1μm以上 ※1
2. 測定再現性：3σ=0.01μm以内 ※2
3. 測定画面上でパターンの方向を選ばない
4. 既存顕微鏡システムへの取り付け可能
5. 測定を自動化することで人的誤差の低減ならびに測定時間を短縮

※1　対物レンズ100倍使用時
※2　スタンダードパターン・対物レンズ100倍・AFを使用し、サンプルの入れ替えを行わず、照明等同じ測定条件で10回繰り返し測定した値（サンプルによって異なることがあります）

線幅検出機能

線幅用のアルゴリズムにより画面に対して測定線幅が傾いていても正しい線幅として測定ができます。

傾いていても傾きを認識・補正、正しく線幅を測定するので作業者の負担を軽減します。

エッジ検出

輝度波形にエッジ検出のしきい値を設けることで線幅測定を行います。
白線や黒線だけでなく、レジストのようなテーパー部で徐々に輝度が変化するようなデバイスでも、
同じ検出条件で測定することで、安定した測定を可能とします。

使用用途例

■液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
■半導体ウェハーの約1μmまでの線幅測定
■TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
■ガラスマスクの線幅測定
■電子部品の各部測定

２種類の測定用ソフトウェア

必要に応じて、どちらかもしくは両方のソフトウェアを選択できます。

■ALMeasure（VP-5LW）

線幅測定に特化したソフトウェアであり測定結果をソフト上で確認出来たり、測定パラメータの設定も直感的に操作できるGUI画面となっています。

●その他機能

• 測定パラメータをテンプレート保存
  ※次回測定時に再度のパラメータ設定が不要になります
• 手動測定機能
• 画像保存機能（マニュアル／オート）

●複数の線幅を一括測定

対象が並んでいる場合、一括測定が可能。手動測定を自動化するのに有効です。
画像を読み込んだ後であれば、測定範囲を動かすことで任意ヶ所を測定できます。

●測定項目／データ出力

• 測定項目:幅、円径
• データ出力:CSV（平均値、最大値、最小値、レンジ、σ値）
• 画像保存（BMP, JPG選択可）

■MILETOS（VP-5MT）

線幅測定以外の測定にもマルチに対応したソフトウェアです。寸法測定の結果だけでなく、様々な情報が出力されるので、その他の評価にも有効です。

●線幅測定以外の使用例

視野内ズレ量測定
視野内に複数の幅測定オブジェクトを配置し測定実施。
測定結果にはそれぞれの幅のカメラ座標中心もCSVファイルに出力されるので、表計算よりズレ量の算出が可能。
複数ヶ所の間隔を何ヶ所も測定せずに一括測定にて作業効率向上に貢献。

●測定用オブジェクト

●測定項目／データ出力

測定項目:幅、円形、面積、角度、円弧
データ出力:

• 幅（幅、幅中心カメラ座標（X,Y）、エッジカメラ座標（X,Y））
• 円形（半径（直径可）、円中心カメラ座標（X,Y）、長径、短径、真円度）
• 面積（面積、面積重心カメラ座標（X,Y）、長径、短径、周長）
• 角度（角度、交点カメラ座標（X,Y））

異物・キズのサイズ測定

主な仕様

デジタルカメラ部
型式	AH-210B
外観
映像方式	CCDモノクロカメラ
素子サイズ	1/1.8インチ
有効画素数	1624×1236 pix（約200万画素）
フレームレート	30fps
測定システム部
最小測定寸法	1μm ※1
測定再現性	3σ=0.01μm以内 ※2
オートフォーカスユニット
合焦精度	対物レンズの焦点深度の約1/3以内
AF検出方法	デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
AF検出位置	映像視野内の任意の高さと領域の設定で AF 可能
Z軸制御	5相ステッピングモータ
Z軸分解能	0.005μm（取り付けるシステムによって異なる）
※1　対物レンズ100倍使用時 ※2　スタンダードパターン・対物レンズ100倍・AFを使用し、サンプルの入れ替えは行わず、照明等同じ測定条件で10回繰り返し測定した値（サンプルによって異なることがあります）

視野サイズと画素分解能