SERVICE01自動検査ソリューション

「⾃動検査ソリューション」は、半導体業界の研究開発・製造現場における
ウエハの異物検査やパターン検査の課題を解決し、
業務効率の向上と作業負担の軽減を実現します。
No
⽬視によるウエハ検査の課題
限られた予算と⼈材で安定した検査品質を維持しにくい
ウエハ検査では、限られた費用と人材で品質を維持する必要があります。さらに、オペレーターのスキルに依存しやすく、
個人差が生じるリスクも。効率的に安定した検査精度を確保することが求められています。
検査の⾒落としリスクと⼈によるばらつきが発⽣する
ウエハ検査では、オペレーターの判断によるばらつきや、小さな異物・欠陥の見落としが課題です。
また、専門スキルの習得には時間とコストがかかり、検査の精度と安定性の維持が難しくなります。
時間がかかり過ぎる検査プロセスを改善したい
目視検査は、時間がかかる上、オペレーターごとの差が精度に影響します。
スキル習得の負担も大きく、生産効率を維持しながら、より速く正確な検査が求められています。
No
菱光社の⾃動検査ソリューションのご提案
課題1
限られた予算と⼈材で
安定した検査品質を
維持しにくい
課題2
検査の⾒落としリスクと
⼈によるばらつきが
発⽣する
課題3
時間がかかり過ぎる
検査プロセスを
改善したい



課題1
限られた予算と⼈材で安定した
検査品質を維持しにくい

課題2
検査の⾒落としリスクと
⼈によるばらつきが発⽣する

課題3
時間がかかり過ぎる
検査プロセスを改善したい

菱光社からの提案
1.
手軽に自動化
顕微鏡ステージを電動化し、制御機能を追加。手作業の負担が減り、
検査をスムーズに行えます。
2.
ほしい機能をカスタマイズ
必要な性能を自由に選べる装置で、
現場に最適な自動検査
を実現します。
3.
ハイエンドな精密検査
高速・高分解能モデルにより、
微細な異常も見逃さず、
高精度な検査が可能です。